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仿生黏附垫/壁虎贴
产品用于泛半导体行业真空、高温等环境下光滑表面(玻璃、显示屏、晶圆等)的重复固定与搬运需求,解决机械夹持易划伤、化学胶易残胶、真空吸盘无法用等技术问题。
仿生摩擦垫
产品具有微米级仿生微结构阵列形貌特征,用作半导体晶圆搬运的被动增摩垫,可大幅度提升晶圆搬运的速度、效率和稳定性,解决一类半导体领域高摩擦、低黏附的通用界面操控问题。
PSC物理吸盘
真空物理吸盘是针对大尺寸晶圆和玻璃基板ODF真空贴合设备的核心器件。
APR版
配向膜/树脂版
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